第238章舌戰群儒

老人開口道：「各位尊敬的科學家，上午好，大家時間都很寶貴，我也就長話短說，簡單談一談本場會議的目的。」

「近年來，我們一直在往半導體產業鏈進行發展，到了今天也有了一定豐碩的成果，前段時間，在林曉先生的主導下，我們先後在多個技術上都實現了突破，特別是矽晶圓生產技術得到了重大突破，達到了世界一流的程度。」

說到這，他朝林曉點點頭，隨後繼續道：「半導體技術的研究是重中之重，未來我們也需要在這個技術上實現更多的創新。」

「現在，大家可以談談自己的看法，談談你們各方技術有哪些新的突破，討論一下我們接下來應該往哪個方向發展。」

隨著老人的話說完，在場的人便開始議論起來。

半晌後，華芯國際的專家舉起了手，說道：「近期以來，我們在晶片生產工藝上實現了一次關鍵性的突破，距離12nm製程又近了一步，這一方面我們需要更多的研發投入。」

「我認為，我們在生產工藝上還是要加大投入，畢竟造出我們自己的光刻機仍然還遙遙無期，還不如先想辦法怎麼將DUV光刻機鑽研到極限。」

這話一說出來，其他人就不願意了。

比如電科集團、常春光機所、魔都微電子，這三家都是接到了研發光刻機任務的，華芯國際提倡要大力搞生產工藝，他們當然就不願意了。

於是這三家公司立馬就表示了反對。

「搞不出來就不搞？你也不看看咱們現在因為沒有搞這些東西都損失多少了。」

「你說搞生產工藝，也沒見伱們搞定多少啊？人家台積電別說14nm了，12nm、10nm的工藝都有，不求你們跟上7nm，但好歹也不至於落後這麼多代吧？」

……

雙方說的話都很不客氣，自然而然的，就直接開始吵了起來。

當然，畢竟是這種場合，他們吵起來也都是指責對方在技術發展上的問題。

不過他們吵的時候，又有人表示：「我覺得，我們是不是應該在材料上再下點功夫？」

在場的人還是有不少是生產材料的，聽到有人提到這一點，頓時就紛紛附和起來。

「對，材料上應該也需要著重發展！」

會議室中再一次多出了一個聲音。

這就是半導體產業鏈，每一環都緊密相連，每一環之間都有著較大的技術壁壘。

就在這些人爭論的時候，忽然有人拍了拍手，眾人看去，正是馬局長。

對於這位科技局局長，在座的人們都還是有保持著尊敬的態度的，於是乎也都安靜了下來，等待他說話。

馬高亮則只是笑了笑，然後說道：「大家說的都很有道理，不過大家也知道，咱們想要跟上國外，各個環節也都還相差甚遠，現在咱們也就只是在矽晶圓生產這上面來到了世界一流的地位。」

「所以我想，咱們要不要先聽聽林教授的看法？」

聽到這，在場的專家們都安靜了下來。

不管如何，光憑林曉最近的這個成就，也值得他們認真對待一下。

於是所有人都將目光看向了坐在前面的林曉。

而林曉對於突然輪到自己講話感到有些意外，不過，他早就準備著要分享一下他的想法了，所以他絲毫不著急。

身體坐好，他先朝右手邊的老人微微一笑，然後重新轉頭看向了在場的人們，隨後道：「我的看法，就是兩手都要抓，兩手都要硬。」

「當然，這句話用到整個產業鏈中，就是整條產業鏈，都要抓牢。」

在場的人頓時都是一愣，

林曉的意思是？

他覺得所有的方向都要發展？

在場的人們都不由搖搖頭，他們還以為林曉能說出什麼讓人眼前一亮的想法呢，結果現在這麼說，在所有人看來明顯就是那種誰都不想得罪，保持中庸的態度。

不過，林曉真的是這個打算嗎？

說完這句話後，他站了起來。

「半導體行業是一個完整的產業鏈，產業鏈中的每一個部分都佔據著十分重要的作用，而我們既然有我們特殊的體制，我們可以形成一盤棋來進行，那麼，我覺得應該組成一個半導體產業聯盟，集中調配各方資源，來更好地發展我們的整個產業。」

「而現在，我們的矽晶圓生產已經完成了突破，同時，因為編碼器八分結構的出現，我們的精密加工技術也得到了一次突破，而剩下的，就是繼續更加深入的去挖掘。」

「在這裏，我首先對光刻機所要用到的光學鏡片生產技術如何實現突破，進行一個簡單的講述。」

說到這，林曉朝羅剛憲微微一笑，羅剛憲卻是一愣，林曉要說他們的光學鏡片？

林曉說道：「如何讓光學鏡片更加精密，無非就是將鏡片表面那些凸起的粒子給弄走。」

「我們能夠利用激光干涉儀，找到這些凸起的粒子，接下來針對這些凸起粒子的凸起量，我們就可以用離子束轟擊這些凸起的粒子，然後將我們的鏡片給『敲』平。」

「這樣一來，我們的鏡片就能變得無比地平整起來。」

聽到林曉的想法，羅剛憲便忍不住說道：「這……這應該做不到吧？激光干涉儀得到的表面的粗糙度數據，我們只能進行統計，但是還無法具體去判斷要怎麼用離子束去轟擊啊！而且，矽原子半徑都經到100多皮米了，直徑等於兩百多皮米，而我們需要的是100皮米以下的級別，如果是離子轟擊，直接把表面原子給轟擊掉了，留下的可能就是一個一百多皮米的坑，這樣還是達不到光刻機鏡片的要求！」

林曉說的確實是一個很好的方法，但這是從理論上來說，他作為專業的，心中完全不相信這一點能夠做到。

林曉只是笑了笑，說道：「我可沒有說要把這些凸起的粒子給轟掉啊，羅院士。」

「我說的是『敲平』！」

「我們只需要就算好轟擊角，控制住水平和垂直上的分力，我們完全可以實現其表面的平坦化。」

「而且，我們所謂的原子半徑，其實只是原子軌道半徑而已，在受力範圍上，它們可不是一個球，用離子束去轟擊，也只是他們之間的電磁力罷了。」

「以前的離子拋光技術，使用的是氬等離子體，在轟擊的時候，我們考慮其電荷量，就能夠實現了。」

聽到這，羅剛憲頓時感到不可思議，這麼說的話，似乎真的可行？

但是經過片刻的思考後，微微搖頭道：「這做不到吧，這在數學上無法實現！你怎麼計算出轟擊角？」

林曉卻是一笑：「只是一道數學問題而已，我最不怕的就是數學問題。」

「這……」

羅剛憲話語一滯。

只是一道數學問題？

而已？

他不知道怎麼說了，但是看著林曉的樣子，他卻找不到繼續質疑的理由。

似乎，真的可以這麼做？

如果他們能夠計算出離子束轟擊角，似乎確實完全有可能將那些粒子給「敲」進去？

其實，這就類似於一種離子拋光技術，只不過相比較那些比較常見的離子拋光技術，他們的這個技術對精細度要求的高了一點點。

而解決這個問題，最重要的可不就是數學問題？

想到這，他看著已經走到了橢圓桌另外一邊的林曉，站起來說道：「林教授，你說服了我，我們合作吧。」

林曉笑了笑，說道：「當然可以，只不過……」

他看了一眼在場的所有人，說道：「各位，我剛才說了，我們要成立一個聯盟，所以，我想和你們所有人一起合作。」

「而你們在技術上遇到的問題，都可以來找我合作研究。」

聽到這，在場的人頓時都瞪大了。

林曉這話，是打算把他們所有人背後所代表的機構企業拉到一起？

他甚至還說，技術上遇到了問題，都可以去找他合作？

雖然林曉解決了CMP材料技術，還有矽晶圓提純技術，甚至還在編碼器精度上實現了重大突破，完全可以稱之為全能性人才。

但是他們在場的那麼多行業，林曉如何做到全能？

有人立馬錶示了反對：「林教授，你的提議很不錯，但是你知道極紫外光光源問題如何解決嗎？這是我們想問你的第一個問題。」

林曉一笑：「極紫外光光源，用的無非就是準分子激光照射在錫靶材上，退激產生極紫外光，而我們要做的就是提高其功率。」

「這一點，我們只需要控制錫靶材和準分子激光的功率，實現錫靶材能夠更大的接受準分子激光照射率，就能夠實現更強的退激效應。」

「關於如何實現錫靶材更高地接受照射率，這一點需要數學計算和實驗驗證，數學方面的問題，對我來說同樣不是問題，所以你們和我合作之後，我們同樣也有機會實現突破。」

「另外，還有我們對EUV光的採集效率，這一點，只要能夠實現我剛才所說的對鏡片的更精密加工，我們採集效率完全可以再次增大，進而提高功率。」

聽到林曉的回答，那個反對的人又是啞口無言，因為他發現自己居然被林曉說動了。

如果真的能夠和林曉合作的話，他們的問題是不是真的能夠得到解決？

而這時候，又有人提問了：「林教授，光路系統呢？」

林曉再一次笑道：「光路系統，首先是我們的精密控制領域需要突破，而我相信，現在我們已經有這樣的機會了。」

「接下來還是一個數學問題，相信我，只要涉及到了數學問題，都不是問題。」

在場的人都不知道說什麼了。

數學問題？

他們的這些問題，除了材料問題、精密加工問題，剩下的可不就是數學問題嗎？

許多人都不知道再去怎麼問了。

當然，那些研究材料的人就有話說了：「我們光刻膠呢？」

林曉說道：「CMP拋光材料，我花了兩個月的時間就給解決了，其他的材料雖然我不敢保證，但是說不定我運氣好之下，就也解決了呢？」

「啊這……」

「林教授，還有我們……」

……

林曉一個個的進行著回答，同時也一個個地將他們說服。

就如同舌戰群儒一般。

成立這樣一個聯盟的想法，他早就有了。

而如今，他在半導體上的成就，讓他有了這樣的榮譽去提起這件事情。

今天這場會議，正好給了他提出這個想法的機會。

就這樣，在場的人在他的話語中，臉上都露出了意動的表情。

似乎都被他說服了。

見到這一幕，林曉宋目光認真地道：「我不是想要搶各位的東西，只是覺得我們有必要建立起這樣的一個聯盟，更好地調動我們資源。」

「朋友們，我們距離國外還有差距，合作是更加應該的。」

「在這裏，我不希望和大家爭論。」

「同時，也請大家相信我，我也有這個信心。」

會議室中安靜了片刻。

光電所所長，羅剛憲院士說道：「我同意。」

有了人開頭，原本還搖擺不定的其他人，也紛紛說道：「我們也同意。」

「同意。」

這件事情，對他們也沒有利益上的影響，只是嫌麻煩，不認為加入之後對他們有什麼意義。

但現在，林曉已然說服了他們。

而見到這些人居然真的都同意了，馬高亮忍不住看向林曉，目光中多出了佩服。

能夠說服這麼多人的，恐怕也只有林曉有這個能力。

而那位一直沒有說話的老人，看著林曉的目光中也多出了許多的欣賞。

而後，他說道：「很好，各位能夠實現合作，我很高興，那麼，我就作為一個見證者，為你們的這個聯盟起個名吧。」

聽到老人的話，林曉笑道：「這當然最好了。」

老人笑道：「那就叫華芯盟好了，簡單直接一點。」

「另外，林教授，在之後如果有什麼需要，聯繫高亮就行，我讓他全力配合你們。」

「好！」

林曉重重點頭。

……

(本章完)